光学原子力显微镜一体机
FM-NanoviewOp-AFM

◆ 光学显微镜和原子力显微镜一体式设计,光电控制一体化;
◆ 同时具备光学和原子力显微镜成像功能,两者可同时扫描成像,互不影响;
◆ 同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能;
◆ 采用了垂直光路设计,配合气液两用型探针架可同时在空气或液体中使用;
◆ 利用了高倍光学定位系统,实现探针和样品扫描区域精确定位;
◆ 简易的激光光斑调节方式,可通过光学CCD窗口实时观测及调节光斑;
◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针,准确定位扫描区域,使针尖垂直于样品扫描;
◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品;
◆ 配备气动式减震台,抗干扰能力强,不影响仪器使用操作;
◆ 集成扫描器硬件非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%。

销售服务热线 总机 0512-66076021
朱先生18934598975


技术参数

◆ 原子力工作模式:接触、轻敲、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力,可选配液体模式
◆ 原子力扫描范围:XY向20um,Z向2um(可选配XY向50um,Z向5um)
◆ 样品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
◆ 扫描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
◆ 样品移动范围:0~20mm
◆ 光学物镜:5X,10X,20X,50X平场复消色差
◆ 光学目镜:10X
◆ CCD传感器:300万像素
◆ 显示屏:11.6寸平板显示器,带测量功能
◆ 光学调焦方式:电动调焦
◆ 扫描速率0.6Hz~4.34Hz,扫描角度0~360°
◆ 扫描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
◆ 数据采样:14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
◆ 反馈方式:DSP数字反馈
◆ 反馈采样速率:64.0KHz
◆ 通信接口:USB2.0/3.0
◆ 运行环境:WindowsXP/7/8/10操作系统

应用范围

FSM-AFM部分客户

石墨烯、薄膜检测:清华大学、中科院苏州纳米所、南京大学、电子科技大学、乔辉新材料、北京航空航科、长信科技......
高分子聚合物检测:浙江大学、北京工业大学、四川农业大学、江南大学、华南师范大学、英国谢菲尔德大学......
DNA、细胞检测:中科院苏州纳米所、南京林业大学、合肥工业大学、台湾优钛科技......
微电子、半导体器件检测:北京大学、五十五所、东南大学、苏州全磊光电、南京波长光电、山东硅元新材料、江苏长电......
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